знания и навыки

учебная и научная литература

учебники и пособия для вузов

технические науки

естественные науки

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».

современная русская литература

зарубежная поэзия

пьесы и драматургия

стихи и поэзия

русская поэзия

дневники

современная русская поэзия

философская поэзия

серьезное чтение

пьесы, драматургия

русская драматургия

cтихи, поэзия

поэтические переводы

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум

Без серии

Ю. С. Боброва