Рассмотрены вопросы, связанные с планированием и проведением эксперимента в электронной промышленности и наноинженерии, анализом полученных результатов и практическим применением методов моделирования технологического процесса и параметров его продукта. Представлена методология планирования и обработки результатов многофакторного эксперимента. Описано домашнее задание и даны рекомендации к его выполнению.
Для студентов, изучающих дисциплины «Техника эксперимента в электронике и наноэлектронике», «Научно-исследовательская работа», «Анализ и синтез технических решений».

учебная и научная литература

учебники и пособия для вузов

практикумы

технологические процессы

Организация контроля и моделирование технологического процесса. Практикум