Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

учебная и научная литература

техническая литература

учебно-методические пособия

естественные науки

технические науки

физика

эксплуатация промышленного оборудования

инженерные расчеты

знания и навыки

вакуумные системы

Расчет вакуумных систем технологического оборудования