Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники».
В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники.
Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.

учебная и научная литература

техническая литература

учебники и пособия для вузов

учебно-методические пособия

технические науки

электроника

практикумы

электронные компоненты

микроэлектроника

полупроводники

знания и навыки

Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ-электронике (лабораторные работы)

Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике

Новые технологии дистанционного зондирования Земли из космоса