Светлана Аркадьевна Козубняк - Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Добавить В библиотекуАвторизуйтесь, чтобы добавить

Автор: Светлана Аркадьевна Козубняк

Название: Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Жанр: учебники и пособия для вузов, приборостроение, электроника, учебное пособие для студентов, нанотехнологии, конструирование оборудования, микроэлектроника, микромеханика, микросистемная техника

Оценить:

Рейтинг: 0

Добавить отзывДобавить цитату

Автор: Светлана Аркадьевна Козубняк

Аннотация на книгу:

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Добавленo: 09.12.2023 15:12Рейтинг: Будь первым, кто оценит книгу Комментариев 0 шт.

Оcтавить отзыв

Авторизация