Книга Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники, Светлана Аркадьевна Козубняк — скачать онлайн в pdf, epub, fb2, txt бесплатно в электронной библиотеке Fantasy Worlds.

Добавить В библиотекуАвторизуйтесь, чтобы добавить

Название: Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Жанр: учебная и научная литература, учебники и пособия для вузов, технические науки, приборостроение, электроника, учебное пособие для студентов, нанотехнологии, конструирование оборудования, микроэлектроника, микромеханика, знания и навыки, микросистемная техника

Оценить:

Рейтинг: 4

Добавить отзывДобавить цитату

Автор: Светлана Аркадьевна Козубняк

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Светлана Аркадьевна Козубняк - Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Оcтавить отзыв

Похожие книги